排气管道内输送阻力太大。
检查清洗管道，更换管路及阀门。
二、吸入管道泄漏。
检查吸入管道接头，以及螺栓的拧紧力矩；检查吸入口的密封垫；检查泵壳上螺栓的拧紧力矩；检查泵上的密封垫，更换新的密封垫。
三、转速太低。
检查电机频率及电压。
四、旋转方向错误。
依照真空泵旋转方向的指示箭头，重新安装接电机的电源线或调接相位
五、吸入管道横断面面积缩小
清洗吸入口过滤器，清楚吸入管道内的沉积物或更换吸入管
六、电机驱动异常。
关闭电动机，等待及其停稳后，重新启动电动机。
七、电动机旋转方向错误。
改变电动机旋转方向。
